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日本利用全印刷技术制成有机TFT阵列

更新日期:2014-06-30

日本新一代印刷电子技术研究联盟(JAPERA)在2014年6月举行的国际学会“SID 2014”上发表演讲,宣布利用已实现工艺自动化的印刷技术、在A4尺寸树脂片材上形成了有机TFT阵列。该技术可使量产时的初期成本大幅降低,易于少量多品种生产。

JAPERA是由索尼、东芝、松下、NEC、理光、富士胶片、柯尼卡美能达、凸版印刷及大日本印刷等27家企业组成的技术联盟,于2011年3月成立。

这次发布的TFT阵列设想用作柔性显示器或压力感应板等的底板。片材为A4尺寸,TFT的间距为300μm,精细度为85ppi,有机TFT的总数为48万个。

有机TFT阵列的栅极、绝缘层、源极、漏极、有机半导体层、通孔及信号线等,全部都是利用自动化片对片(S2S)印刷技术在树脂片材上形成的。布线是利用由银纳米颗粒构成的墨水等形成的。最高工艺温度为180℃。

栅极线和信号线的线宽为20μm。有机TFT的通道长度为10μm,通道宽度为160μm。有机TFT的载流子迁移率平均值稍低,为0.1cm2/Vs,但电流导通/截止比高达106。通态电流为1μA,偏差在10%以下。